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製品名
ArF用ARC®
| 製品グレード | ARC® 29SR/83/91/93/95/97/160 |
|---|---|
| 用途 | 半導体リソグラフィー用反射防止コーティング材 |
| 特徴 | 1. 本製品の使用により、レジスト露光時に基板界面での照射光の反射により発生する様々なトラブルを解決します。i 線、KrF、ArF用露光技術にマッチする各種ARC®coatingを取り揃えております。 2.最先端ArFレジストとの高密着性とエッチング選択比を高めることで、ArFリソグラフィーを実現するためのお役に立ちます。 *ARC®はBrewer Science, Inc.の登録商標です。 |
