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製品名
KrF用ARC®
| 製品グレード | ARC® DUV30J/32/42P/44/52/64A/96/112 |
|---|---|
| 用途 | 半導体リソグラフィー用反射防止コーティング材 |
| 特徴 | 1. 本製品の使用により、レジスト露光時に基板界面での照射光の反射により発生する様々なトラブルを解決します。i 線、KrF、ArF用露光技術にマッチする各種ARC®coatingを取り揃えております。 2. ARC®coatingは、エキシマーレーザー露光に不可欠な技術です。 3. 化学増幅型レジストの性能をフルに引き出す上で、種々のラインアップを揃えました。 *ARC®はBrewer Science, Inc.の登録商標です。 |
